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半導(dǎo)體無塵車間凈化工程技術(shù)方案及**難點處理
發(fā)布時間:2022-11-15   瀏覽:1956次

  做任何行業(yè)的無塵車間,首先就需要從該行業(yè)的特征和難點出發(fā),進行合理設(shè)計。半導(dǎo)體是一種導(dǎo)電性可受控制,范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。半導(dǎo)體的分類,按照其制造技術(shù)可以分為:集成電路組件,分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等。日常生活中,我們比較常見的是集成電路和光電半導(dǎo)體。

  半導(dǎo)體組件體積小,對精度要求高,單位通常以微米計算,半導(dǎo)體無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。微塵顆粒沾附在半導(dǎo)體組件上,便很容易造成短路或斷路的嚴重后果,因此要求所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在安全無塵的密閉空間中。半導(dǎo)體無塵車間建立的目的是為了過濾循環(huán)空氣建議無塵環(huán)境,調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境,建立正壓環(huán)境避免外氣污染。

  半導(dǎo)體無塵車間潔凈室與各系統(tǒng)關(guān)系如下:

  無塵車間參數(shù)

  1.壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;

  2.平均風(fēng)速:100級0.3-0.5m/s;

  3.噪聲≤65dB(A);

  4.新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;

  5.照度300LX。

  6.溫度:20-26度,(車間),溫度:12-23度(用于產(chǎn)品測試)

  7.濕度:50-70%RH,(車間),濕度40-85%RH(用于產(chǎn)品測試)

  8.凈化等級:100級-30萬級(用于測試),1000-30萬級用于生產(chǎn)。

  半導(dǎo)體制造對無塵車間工程環(huán)境的控制有較為嚴格的要求,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為***主要的無塵車間工程設(shè)計方案。

  ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容,靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產(chǎn)品的良率。

  半導(dǎo)體無塵車間設(shè)計及運行注意事項:

  1.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進,因此潔凈無塵車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間

  2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機加壓多久,空調(diào)就得開多久。

  3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,潔凈無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃細菌等在潔凈無塵車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至***低程度。

  4.半導(dǎo)體潔凈無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

  在半導(dǎo)體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的**難點外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體供應(yīng)等)及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。

  


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